OLED用显微镜

更新时间：2021-01-13

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产品名称：OLED用显微镜
产品简介：OLED用显微镜是利用金属光激发OLE后测量OLED蒸镀尺寸和偏移等缺陷的显微镜。影像量测著重于度，系统底座采用铸件/花岗石本体结构，减震系统克服环境震动问题，可解决高倍率解析时的震动问题。系统采用XY轴光学尺模块可实现跨距量测。光学系统采用荧光显微镜光路实现对OLED的激发。人性化计算机量测模式，有效提高观察定位效率。专为使用者设计机型，使操作更便利、测量更迅速。

产品特点：

手动量测系统XY采用精密无牙螺杆传动，减少齿轮传动偏移误差
线性马达/伺服马达用于自动化量测传动系统，能实现高精度测量
系统采用被动式or主动式减震系统，能克服环境震动问题，可解决高倍率解析时的震动问题
系统使用荧光显微光路，有效激发OLED发射光谱
系统使用人体工学设计理念设计，符合友好化测量
设备应用：

设备主要应用OLED的显微分析和蒸镀测量上

量测工具	点,线,圆,弧,椭圆,槽型,曲线等各项不规则外型取样
形位公差	真圆度,同心度,垂直度,倾斜度,位置度,等各项形位公差设置
UV功能验证	UV光源下图像清晰
断面测量	按照PO spec要求进行测试并保存结果
自动计算offset	根据蒸镀有机材料的位置与设定的蒸镀位置对比,计算offset;或者是将UV光图像位置和上光源下图片位置对比,计算offset
UV光和卤素光自动切换	在软件中点击切换按钮后,可以自动切换光源并呈现相应的图像
SPC	软件须附带SPC功能,量测之数据须能自动导出作分析
报表输出	软件可客制化输出客户所需之 EXCEL,TXT,WORD,JPG

7.3.2 设备配置&特征 7.3.2System Configuration& Characteristic	外部尺寸：LWH≤250025002000mm External Size: LWH≤250025002000mm
	测量行程：XY≥750*650mm Z≤100mm
	重量：≤5000kg
	承重：≥10kg Capacity: ≥10kg
	高测量度：XYZ≤1μm Maximum Accuracy: XYZ≤1μm
	机台重复性：≤1μm Machine Repeatability:≤1μm
	XYZ小移动距离：XYZ≤1um XYZ minimum move distance: XYZ≤1um
	XYZ移动精度: XYZ≤1um XYZ move precision: XYZ≤1um
	XYZ轴移动速度: XYZ≤200mm/s XYZ Speed: XY≤200mm/s
7.3.3机械本体 7.3.3 Mechanics

	*光学放大倍率：5X/10X/20X/50X/100X
	光源特征：光源可以采用卤素灯、汞灯，寿命满足SPEC要求
	7.3.5电控系统、 7.3.5 Control System	电机：直流伺服电机 Dynamo:DC servo motor
	7.3.5电控系统、 7.3.5 Control System	操作类型：鼠标和操作手柄，按键 Control Type: Mouse and Joystick
	7.3.6软件系统 7.3.6 Software System	功能:点，直线，圆，弧，椭圆，槽等测量功能，带有线追踪功能，粒子计数，软件定位系统，软件控制光源亮度，软件控制电动鼻轮，软件控制孔径光阑
		图像：可复制，可进行大面积图形无缝拼接 Image: can copy
		数据格式：JPG/Excel Data format: JPG/Excel
7.3.7 其它 7.3.7 Others	防微振装置:达到VC-B级别的防震平台 Anti-vibration device: Yes
7.3.7 其它 7.3.7 Others	*静电防护：离子风棒