不看不知道原来台式电镜的发展背景是这样的

　　光学显微镜是人类迈向微观世界的一步，它的价格便宜，操作简单，但是受光学透镜的限制，其放大倍数只能达到1000倍左右;传统大型电子显微镜使用电子束作为光源，分辨率显著提高，可观测到几个纳米的尺度，从而大大促进了人们对微观领域的探索。但是，其体积较大、投资巨大、价格较贵，操作较复杂，需要经过严格培训的人员进行具体操作。
 

　　为了解决这一矛盾，一些传统的大型电子显微镜厂商相继推出了台式电镜。台式电镜是一种全新的设计，既保留了大型电子显微镜较高的放大倍数和大景深，同时体积小、操作简单，价格相对便宜。另外还可以安装能谱仪，实现元素分析。
 

　　台式电镜主要由真空系统、电子枪、光学系统和探测器等组成。
 

　　1、真空系统
 

　　一般采用机械泵与分子泵联动。
 

　　2、电子枪发射源
 

　　电子枪发射源一般为钨灯丝、六硼化铈，也有采用场发射枪的台式电镜。其中钨灯丝的价格便宜但使用寿命较短，六硼化铈灯丝寿命长、亮度高，价格也随之而升，但其束流稳定性差，不稳定的束流直接影响能谱分析的准确度。
 

　　3、超高分辨率
 

　　目前分辨率高的是台式电镜，其分辨率在加速电压为30kv的条件下能达到8nm。电镜之所以会拥有如此高的分辨率，主要原因还在于其光学系统的设计。
 

　　4、光学系统
 

　　传统的台式电镜采用BSD探测器成像，具有超高分辨率的台式电镜采用的是与大型电镜一致的三级电磁透镜系统，即二级聚光镜+物镜设计，其作用是可以获得更小的电子束斑直径，将电子枪的电子束缩小成直径约几十埃的狭窄电子束，多级束流汇聚确保获得低于8nm高分辨率成像。
 

　　5、探测器
 

　　探测器主要为背散射电子探测器或二次电子探测器。有些台式电镜同时采用两种探测器，其中背散射电子探测器主要用来观察材料成分，而二次电子探测器专门用来观察样品表面形貌，图像的立体感较强。