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产品简介
纳米白光干涉仪 表面细微三维形貌测量系统基于白光干涉仪原理、结合Z向精密压电扫描模块和三维重建算法准确获 得各种精密器件和材料表面形貌数据，适用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多种表面测量求，能够实现纳米级精度测量、重构表面形 貌3D轮廓。
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纳米白光干涉仪 表面细微三维形貌测量系统基于白光干涉仪原理、结合Z向精密压电扫描模块和三维重建算法准确获 得各种精密器件和材料表面形貌数据，适用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多种表面测量求，能够实现纳米级精度测量、重构表面形 貌3D轮廓。
技术参数
型号：PZ-Mico D
测试技术： 3D相干扫描干涉法，抗震算法，移相干涉法
光源：固态白光光源，软件控制切换光谱（VSI和PSI）
扫描装置：精密压电陶瓷驱动，闭环反馈电容控制精密压电陶瓷
像素分辨率：1280X1024
视场： 10倍范围1200X950
纵向扫描范围：25mm
横向分辨率：0.05-2.68µm
轴向分辨率：VSI：0.5nmPSI：0.1nm
台阶高度精度（示值误差）±0.1nm（5µm标准台阶）
台阶高度重复性：0 . 1％1σ（5µm标准台阶
粗糙度 RMS 2
粗糙度RMS重复性:0.01nm
被测样品反射率：0.05%-100%
Z轴：电动Z平台100mm，1μm分辨率）
位移台：电控平台移动范围XY:100x100mm
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