台阶轮廓测试仪kia-tencor在半导体的应用

仪器简介：
 

应用：
◆薄膜厚度测量；
◆样品表面形貌测量；
◆薄膜应力测量；
◆样品表面粗糙度/波纹度测量；
◆样品表面三维形貌测量等。

技术参数：
 

KLA-Tenco探针式台阶仪，可测量纳米级至2毫米台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力，集高测量精度、多功能性和经济性于一体，是生产线及材料分析等应用领域的理想选择。因其具有6.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及分辨率,

主要特点：
 

◆Alpha-Step IQ采用天然金刚石作为探头，经久耐用。探针更换简便、快速，软件具有保护测针以免发生损坏功能；
◆探针扫描是双向的，即可以从左向右，又可以从右向左；
◆无论何时只要测针下伸的时间超过 60 秒，但仍然没有开始扫描，测针将自动升起；
◆当测针达到其测量范围的上*，测针自动缩回，扫描终止；（备注：当测针达到其上*，屏幕上的迹线停止上升，而变为水平）；
◆为了安全起见，可以用程序设置升降器，使其仅可以降低到一个预设的限制；
◆可为用户提供中文操作界面，可以提供中文操作手册；
◆软件界面友好，简单易学，功能大。