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TECHNICAL ARTICLES公司提供匈牙利Semilab公司SE-2000型、SE-1000光谱型椭偏仪(原法国Sopra公司GES5-E)。WT-2000型、WT-1200A、WT-1200B型、WT-1000型少子寿命测试仪、DLS-83D深能级瞬态谱仪。
SE-2000光谱椭偏仪(原法国Sopra公司)是的椭偏仪设备供应商,其高精度椭偏仪在半导体、化合物半导体(GaAs/SiC)、LCD和MEMS领域有着非常广泛的应用。目前有超过500台的Sopra椭偏仪应用在各个行业。
主要特点:
SE-2000型椭偏仪
SE-2000是一款的模块化光学测试平台,是一款具有可旋转补偿的光谱型椭偏仪。它是一种非接触式和非破坏性的光学测试方法,可以测试基底上的单层膜和多层膜,从而获得薄膜的厚度和光学特性。该系统具有强大的模块和多功能设计,可以满足从简单到复杂的应用的需求,如偏振测量、散射测量和利用米勒矩阵的椭圆偏振测量技术。它有一个特别的独立的可选择角度的臂,和小的光点尺寸。SE-2000型椭便仪具有目前市场上宽的光谱范围,选择了选件FTIR椭便仪测试头,在同一个可见光测试臂上实现光谱范围从深紫外(193nm)到中红外的25μm。
它可以使用光谱仪和探测器阵列进行快速检测,也可以使用分光计和单点探测器进行高分辨率的检测,也可以再同一工具上同时使用两种模式
SE-2000椭便仪包括Semilab的智能电子产品,可互换部件,并能使用新一代的操作和分析软件(SAM/SEA)进行操作和分析。该系统可以使用计算机或者笔记本电脑通过局域网或新的触摸屏界面来控制。
SE-2000型椭便仪可以和Semilab其他测量仪器结合使用,比如4PP方块电阻测量、涡流测量、μ-PCR、拉曼测量、光致发光测量等。
应用:
1)光电子
LED, 光电子产品: AlGaN, GaN, InP等材料测试.
光学反射膜,增透膜, III-V电子器件(EEL, VCSEL, ECL)
MEMS
Sol-Gel/多孔膜
2)太阳能电池应用:
薄膜和硅太阳能电池、纳米结构电池等
透明导电氧化物、纳米点、纳米线、碳纳米管CNT等
3)有机物:
OLED, OPV, 传感器, OTFT
4)半导体:
高k材料、栅氧化层、氮化硅、低K材料等
互联线、光刻胶等
外延层: SOI, SiGe, Strained Si, SiC, Poly
5)平面显示:
TFT-LCD, LTPS, IGZO, OLED, 电致变色膜
6)其他应用:
铁电材料 (BST, SBT, PZT)
燃料电池SOFC, 多孔电极
石墨烯
3D材料、周期性结构材料